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管材管件AP级
管材管件BA级
真空、卫生级
卡套接头、球阀
阀门
PVC、PFA材料
其他辅料

金属洁净管及管件洁净流程

 

流程

說明

清洗劑

作業環境

01

去脂

浸泡於去脂槽中沖洗

鹼性脫脂劑

一般環境

02

清洗

高壓水沖洗

RO

一般環境

03

鈍化

浸泡於硝酸溶液中

硝酸溶液

一般環境

04

清洗

高壓水沖洗

RO

一般環境

05

去脂與中和

浸泡於去脂槽中沖洗

鹼性脫脂劑

一般環境

06

清洗

高壓水沖洗

RO

一般環境

07

清洗

RO水浸泡

2MΩcm at 25

一般環境

08

**清洗

**DI水內壁沖洗

12MΩcm at 25

class 1000 無塵室

09

烘乾

高溫CDA烘乾

高溫CDA (0.01μm filter) 

class 1000 無塵室

10

檢驗

外觀,油脂,顆粒,離子溶出

 

class 1000 無塵室

11

包裝

加蓋,加塑膠套

 

class 1000 無塵室

 

 

 

 

 

 

註:** 為選擇性流程

 

 

 




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